玻璃基板是平板顯示的關鍵基礎材料之一，為了達到玻璃基板清洗用水要求，需要選用不含有任何離子雜質的超純水進行處理，采用反滲透技術和EDI技術相結合，有效去除原水中的各種雜質，出水電阻率可以達到18兆歐以上。

　　玻璃基板超純水設備工藝流程

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI係統→微孔過濾器→用水點

　　玻璃基板超純水設備優點

　　1、出水水質具有穩定度。

　　2、能連續生產出符合用戶要求的超純水。

　　3、模塊化生產，並可實現PLC全自動控製。

　　4、不需酸堿再生，無汙水排放。

　　5、不會因再生而停機。

　　以上是玻璃基板超純水設備的簡單介紹。